Zr-V getter films for MEMS packaging - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue 2023 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP) Année : 2023

Zr-V getter films for MEMS packaging

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Clément Bessouet  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-04505366

Soumis le : jeudi 14 mars 2024-18:21:34

Dernière modification le : mercredi 30 octobre 2024-19:42:49

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Dates et versions

hal-04505366 , version 1 (14-03-2024)

Identifiants

Citer

Sylvain Lemettre, Clément Bessouet, Charlotte Kutyla, Alain Bosseboeuf, Philippe Coste, et al.. Zr-V getter films for MEMS packaging. 2023 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), 2023, pp.1-4. ⟨10.1109/DTIP58682.2023.10267930⟩. ⟨hal-04505366⟩

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