Highly efficient SiC/Mo/Al multilayer gratings for EUV applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2021

Highly efficient SiC/Mo/Al multilayer gratings for EUV applications

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04475991 , version 1 (24-02-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04475991 , version 1

Citer

Amr Hisham K. Mahmoud, Sébastien de Rossi, Evgueni Meltchakov, Irène Papagiannouli, Blandine Capitanio, et al.. Highly efficient SiC/Mo/Al multilayer gratings for EUV applications. 317th PTB Seminar VUV and EUV Metrology, Oct 2021, Berlin (Germany), Germany. ⟨hal-04475991⟩
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