Poster De Conférence
Année : 2021
Franck Delmotte : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04475991
Soumis le : samedi 24 février 2024-03:41:22
Dernière modification le : mardi 27 février 2024-10:53:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04475991 , version 1
Citer
Amr Hisham K. Mahmoud, Sébastien de Rossi, Evgueni Meltchakov, Irène Papagiannouli, Blandine Capitanio, et al.. Highly efficient SiC/Mo/Al multilayer gratings for EUV applications. 317th PTB Seminar VUV and EUV Metrology, Oct 2021, Berlin (Germany), Germany. ⟨hal-04475991⟩
Collections
21
Consultations
0
Téléchargements