Article Dans Une Revue
ACS Applied Materials & Interfaces
Année : 2016
Gregory ABADIAS : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04456055
Soumis le : mardi 13 février 2024-19:07:32
Dernière modification le : jeudi 25 avril 2024-08:50:12
Citer
Bärbel Krause, Grégory Abadias, Anny Michel, Peter Wochner, Shyjumon Ibrahimkutty, et al.. Direct Observation of the Thickness-Induced Crystallization and Stress Build-Up during Sputter-Deposition of Nanoscale Silicide Films. ACS Applied Materials & Interfaces, 2016, 8 (50), pp.34888-34895. ⟨10.1021/acsami.6b12413⟩. ⟨hal-04456055⟩
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