Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2002
Julien Cardin : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04435447
Soumis le : vendredi 2 février 2024-17:00:20
Dernière modification le : mercredi 24 avril 2024-13:36:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04435447 , version 1
- DOI : 10.1016/S0040-6090(02)00294-8
Citer
C Ternon, F Gourbilleau, X Portier, P Voivenel, C Dufour. An original approach for the fabrication of Si/SiO2 multilayers using reactive magnetron sputtering. Thin Solid Films, 2002, 419 (1-2), pp.5-10. ⟨10.1016/S0040-6090(02)00294-8⟩. ⟨hal-04435447⟩
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