Role of Fluorinated Precursor in Area Selective PECVD of Silicon on SiOxNy
Ghewa Akiki
,
Mathieu Frégnaux
(1)
,
Ileana Florea
(2)
,
Pavel Bulkin
(3)
,
Dmitri Daineka
(4)
,
Sergej Filonovich
(5)
,
Muriel Bouttemy
(1)
,
E.V. Johnson
Ghewa Akiki
- Fonction : Orateur
Mathieu Frégnaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 737899
- IdHAL : mathieu-fregnaux
- ORCID : 0000-0002-3915-3982
- IdRef : 16965740X
E.V. Johnson
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739097
- IdHAL : erikvjohnson
- ORCID : 0000-0003-0920-2111
- IdRef : 253120209