Sequential fabrication of multiple Ge nanomembranes from a single wafer: Towards sustainable recycling of Ge substrates - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sustainable Materials and Technologies Année : 2024
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hal-04404216 , version 1 (18-01-2024)

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Citer

Alexandre Chapotot, Bouraoui Ilahi, Tadeáš Hanuš, Gwenaëlle Hamon, Jinyoun Cho, et al.. Sequential fabrication of multiple Ge nanomembranes from a single wafer: Towards sustainable recycling of Ge substrates. Sustainable Materials and Technologies, 2024, 39, pp.e00806. ⟨10.1016/j.susmat.2023.e00806⟩. ⟨hal-04404216⟩
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