Etude XPS de surface et d’interface de films ultra-minces d’InAlN oxydés à haute température pour le développement des transistors de puissance.
Yoan Bourlier
(1)
,
Muriel Bouttemy
(1)
,
Olivier Patard
(2)
,
Piero Gamara
(2)
,
Stéphane Piotrowicz
(3)
,
Jackie Vigneron
(1)
,
Mathieu Frégnaux
(1)
,
Raphaël Aubry
(4)
,
Sylvain Delage
(4)
,
Arnaud Etcheberry
(1)
Mathieu Frégnaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 737899
- IdHAL : mathieu-fregnaux
- ORCID : 0000-0002-3915-3982
- IdRef : 16965740X
Arnaud Etcheberry
- Fonction : Auteur
- PersonId : 756688
- ORCID : 0000-0003-3515-9866
- IdRef : 061555029