Communication Dans Un Congrès Année : 2019

SrTiO3 thin films growth by Direct Liquid Injection Atomic Layer Deposition (DLI ALD) onto Si(001) substrates

M. Frégnaux
L. Yedra Cardona
  • Fonction : Auteur
S. Hassani
  • Fonction : Auteur
E. Popova
  • Fonction : Auteur
B. Dkhil
J.M. Decams
  • Fonction : Auteur
V. Sallet
  • Fonction : Auteur
Y. Dumont
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04401873 , version 1 (18-01-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04401873 , version 1

Citer

A. Grishin, B. Berini, C. Sartel, M. Frégnaux, G. Amiri, et al.. SrTiO3 thin films growth by Direct Liquid Injection Atomic Layer Deposition (DLI ALD) onto Si(001) substrates. RAFALD 2019, Nov 2019, Toulouse, France. ⟨hal-04401873⟩
55 Consultations
0 Téléchargements

Partager

  • More