SrTiO3 thin films growth by Direct Liquid Injection Atomic Layer Deposition (DLI ALD) onto Si(001) substrates
A. Grishin
(1)
,
B. Berini
(1)
,
C. Sartel
(1)
,
M. Frégnaux
(2)
,
G. Amiri
(1)
,
L. Yedra Cardona
,
S. Hassani
,
E. Popova
,
B. Dkhil
,
J.M. Decams
,
D. Aureau
(2)
,
V. Sallet
,
Y. Dumont
M. Frégnaux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 737899
- IdHAL : mathieu-fregnaux
- ORCID : 0000-0002-3915-3982
- IdRef : 16965740X
L. Yedra Cardona
- Fonction : Auteur
S. Hassani
- Fonction : Auteur
E. Popova
- Fonction : Auteur
B. Dkhil
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172266
- IdHAL : brahim-dkhil
- ORCID : 0000-0002-9862-625X
- IdRef : 135228301
J.M. Decams
- Fonction : Auteur
V. Sallet
- Fonction : Auteur
Y. Dumont
- Fonction : Auteur