New phases of amorphous carbon and silicon films obtained by low energy cluster beam deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue (Article De Synthèse) Materials Science and Engineering: A Année : 1996

New phases of amorphous carbon and silicon films obtained by low energy cluster beam deposition

P. Melinon
  • Fonction : Auteur
B. Prevel
  • Fonction : Auteur
V. Dupuis
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A. Perez
  • Fonction : Auteur
B. Champagnon
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M. Boudeulle
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M. Pellarin
  • Fonction : Auteur
P. Dugourd
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M. Broyer
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Dates et versions

hal-04398607 , version 1 (16-01-2024)

Identifiants

Citer

P. Melinon, B. Prevel, V. Dupuis, A. Perez, B. Champagnon, et al.. New phases of amorphous carbon and silicon films obtained by low energy cluster beam deposition. Materials Science and Engineering: A, 1996, 217-218, pp.69-73. ⟨10.1016/S0921-5093(96)10363-4⟩. ⟨hal-04398607⟩
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