Ohmic contacts by phosphorus ion implantation on (111) N-type CVD diamond
Fontaine Lia
(1)
,
Isoird Karine
(2)
,
Tasselli Josiane
(3)
,
Austin Patrick
(3)
,
M.A. Pinault-Thaury
(4)
,
Gillet Rémi
(4)
,
Barjon Julien
(4)
,
Grosset Grégory
(5)
,
Servel Alexandra
(6)
,
Morata Stéphane
(7)
1
LAAS -
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
3 LAAS-ISGE - Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie
4 GEMAC - Groupe d'Etude de la Matière Condensée
5 Société IBS
6 IBS - Ion Beam Services
7 IBS - Ion Beam Services
2 INSA Lyon - Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
3 LAAS-ISGE - Équipe Intégration de Systèmes de Gestion de l'Énergie
4 GEMAC - Groupe d'Etude de la Matière Condensée
5 Société IBS
6 IBS - Ion Beam Services
7 IBS - Ion Beam Services
M.A. Pinault-Thaury
- Fonction : Auteur
- PersonId : 741806
- IdHAL : marie-amandine-pinault-thaury
- ORCID : 0000-0001-7843-9935
- IdRef : 253126002