Utilisation d’un film ultramince de polyphosphazene comme masqueur en technologie microélectronique à base de III-V et II-VI - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2017

Utilisation d’un film ultramince de polyphosphazene comme masqueur en technologie microélectronique à base de III-V et II-VI

Domaines

Chimie
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04392982 , version 1 (14-01-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04392982 , version 1

Citer

A. Etcheberry, A.M. Gonçalves, J.L. Pelouard, M. Fregnaux, A. Loubat.. Utilisation d’un film ultramince de polyphosphazene comme masqueur en technologie microélectronique à base de III-V et II-VI. France, N° de brevet: FR 17 57294. 2017. ⟨hal-04392982⟩
4 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More