Brevet
Année : 2017
Anne-Marie GONCALVES : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04392982
Soumis le : dimanche 14 janvier 2024-14:36:09
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04392982 , version 1
Citer
A. Etcheberry, A.M. Gonçalves, J.L. Pelouard, M. Fregnaux, A. Loubat.. Utilisation d’un film ultramince de polyphosphazene comme masqueur en technologie microélectronique à base de III-V et II-VI. France, N° de brevet: FR 17 57294. 2017. ⟨hal-04392982⟩
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