Surface Modification & Spectroscopic Ellipsometry: the case of Indium Phosphide surfaces submitted to RF plasma Ar interaction - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2019

Surface Modification & Spectroscopic Ellipsometry: the case of Indium Phosphide surfaces submitted to RF plasma Ar interaction

Solène Béchu
Muriel Bouttemy
Sofia Gaiaschi
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1096438
Patrick Chapon
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1096437
Arnaud Etcheberry

Domaines

Chimie
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04390589 , version 1 (12-01-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04390589 , version 1

Citer

Solène Béchu, Anais Loubat, Muriel Bouttemy, Jackie Vigneron, Sofia Gaiaschi, et al.. Surface Modification & Spectroscopic Ellipsometry: the case of Indium Phosphide surfaces submitted to RF plasma Ar interaction. ICSE 8, May 2019, Barcelona, Spain. ⟨hal-04390589⟩
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