Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2022

Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors

Laetitia Leroy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1326904
Philippe Coste
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1180734
Johan Moulin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1083351

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04365009 , version 1 (27-12-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04365009 , version 1

Citer

Charlotte Kutyla, Clément Bessouet, Sylvain Lemettre, Laetitia Leroy, Philippe Coste, et al.. Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors. Journées Nationales des Technologies Emergentes (JNTE), Nov 2022, Besançon, France. ⟨hal-04365009⟩
14 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More