Brevet Année : 2007

Dispositif de fournitures de vapeur d'un précurseur solide à un appareil de traitement

Domaines

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04327671 , version 1 (06-12-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04327671 , version 1

Citer

Constantin Vahlas, François Senocq, Brigitte Caussat, Wayne L. Gladfelter. Dispositif de fournitures de vapeur d'un précurseur solide à un appareil de traitement. France, Patent n° : FR2878453 (B1). 2007. ⟨hal-04327671⟩
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