Thermal contact resistance measurements on metal-semiconductor structures by scanning thermal microscopy and 3ω method
Juan Carlos Acosta Abanto
(1, 2)
,
Mélanie Brouillard
(2)
,
Marc Dewitte
(3, 4)
,
Jean-François Robillard
(2, 4)
,
Nicolas Horny
(5)
,
Pierre-Olivier Chapuis
(1)
,
Séverine Gomés
(1)
1
CETHIL -
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon
2 MICROELEC SI - IEMN - Microélectronique Silicium - IEMN
3 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 ITheMM - Institut de Thermique, Mécanique, Matériaux
2 MICROELEC SI - IEMN - Microélectronique Silicium - IEMN
3 CMNF - IEMN - Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 ITheMM - Institut de Thermique, Mécanique, Matériaux
Mélanie Brouillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1368914
- IdHAL : melanie-brouillard
- ORCID : 0000-0001-5834-7785
Marc Dewitte
- Fonction : Auteur
- PersonId : 753849
- IdHAL : marc-dewitte
Jean-François Robillard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747199
- IdHAL : jean-francois-robillard
- ORCID : 0000-0002-7170-7535
- IdRef : 132947110
Nicolas Horny
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750609
- IdHAL : nicolas-horny
- ORCID : 0000-0003-1633-7989
- IdRef : 067249035
Pierre-Olivier Chapuis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171286
- IdHAL : pierre-olivier-chapuis
- ORCID : 0000-0002-6264-2530
- IdRef : 191202266
Séverine Gomés
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171288
- IdHAL : severine-gomes
- ORCID : 0000-0002-1173-7177
- IdRef : 115013636