Article Dans Une Revue
Plasma Sources Science and Technology
Année : 2019
Tatiana Novikova : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04286867
Soumis le : mercredi 15 novembre 2023-11:48:34
Dernière modification le : vendredi 17 novembre 2023-03:23:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04286867 , version 1
- ARXIV : 1808.03449
- DOI : 10.1088/1361-6595/ab067d
Citer
Jean-Maxime Orlac’h, Tatiana Novikova, Vincent Giovangigli, Erik Johnson, Pere Roca I Cabarrocas. Impact of charged species transport coefficients on self-bias voltage in an electrically asymmetric RF discharge. Plasma Sources Science and Technology, 2019, 28 (5), pp.055003. ⟨10.1088/1361-6595/ab067d⟩. ⟨hal-04286867⟩
Collections
9
Consultations
0
Téléchargements