Proceedings/Recueil Des Communications
Année : 2012
Judikaël Le Rouzo : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04251245
Soumis le : vendredi 20 octobre 2023-11:14:14
Dernière modification le : mardi 5 décembre 2023-18:08:08
Citer
Thomas Wood, Vincent Brissonneau, Jean-Baptiste Brückner, Gérard Berginc, François Flory, et al.. Innovative guided mode method for measuring the penetration depth in partially exposed photo-resist layers. pp.84860Z, 2012, ⟨10.1117/12.928692⟩. ⟨hal-04251245⟩
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