Communication Dans Un Congrès
Année : 1999
Emmanuel Dubois : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04249195
Soumis le : jeudi 19 octobre 2023-10:25:42
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04249195 , version 1
Citer
Emmanuel Dubois, Jean-Luc Bubendorff. Nano-lithography by SPM-induced oxidation: role of space charge in the kinetics of oxide growth. Proc. of the International Semiconductor Device Research Symposium ISDRS’99, Dec 1999, Charlottesville, United States. ⟨hal-04249195⟩
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