Nano-Lithography on Silicon Surfaces with an SPM Operating in Air - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1996
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04249076 , version 1 (19-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04249076 , version 1

Citer

Didier Stiévenard, Paul-Aymeric Fontaine, Emmanuel Dubois. Nano-Lithography on Silicon Surfaces with an SPM Operating in Air. Proc. of the Third European Workshop on Electrochemical Processing of Semiconduc¬tors EWEPS’96, Nov 1996, Paris, France. ⟨hal-04249076⟩
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