Communication Dans Un Congrès
Année : 1996
Emmanuel Dubois : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04249076
Soumis le : jeudi 19 octobre 2023-09:40:32
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04249076 , version 1
Citer
Didier Stiévenard, Paul-Aymeric Fontaine, Emmanuel Dubois. Nano-Lithography on Silicon Surfaces with an SPM Operating in Air. Proc. of the Third European Workshop on Electrochemical Processing of Semiconduc¬tors EWEPS’96, Nov 1996, Paris, France. ⟨hal-04249076⟩
Collections
3
Consultations
0
Téléchargements