SPM-based lithography techniques using selective anodic oxidation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 1997
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04249072 , version 1 (19-10-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04249072 , version 1

Citer

Emmanuel Dubois, Paul-Aymeric Fontaine, Didier Stiévenard. SPM-based lithography techniques using selective anodic oxidation. Proc. of Phantoms Strategic Domain Meetings PHASDOM’97, Mar 1997, Aachen, Germany. ⟨hal-04249072⟩
6 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More