Laser-induced deposition of aluminium on gallium arsenide and silicon nitride from trimethylamine alane - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 1993

Laser-induced deposition of aluminium on gallium arsenide and silicon nitride from trimethylamine alane

T. Frugier
  • Fonction : Auteur
A. Boulahia
  • Fonction : Auteur
A. Sayah
  • Fonction : Auteur
J.E. Bourée
  • Fonction : Auteur
J.M. Siffre
  • Fonction : Auteur
D. Mencaraglia
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-04236258 , version 1 (10-10-2023)

Identifiants

Citer

T. Frugier, A. Boulahia, A. Sayah, D. Tonneau, J.E. Bourée, et al.. Laser-induced deposition of aluminium on gallium arsenide and silicon nitride from trimethylamine alane. Applied Surface Science, 1993, 69 (1-4), pp.305-309. ⟨10.1016/0169-4332(93)90523-E⟩. ⟨hal-04236258⟩
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