Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 1987
Didier Tonneau : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04236243
Soumis le : mardi 10 octobre 2023-19:03:36
Dernière modification le : mercredi 11 octobre 2023-03:22:56
Citer
D. Tonneau, G. Auvert, Y. Pauleau. CO2-laser-induced chemical vapour deposition of polycrystalline silicon from silane. Thin Solid Films, 1987, 155 (1), pp.75-86. ⟨10.1016/0040-6090(87)90454-8⟩. ⟨hal-04236243⟩
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