Article Dans Une Revue
Chemical Physics
Année : 1984
Didier Tonneau : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04236238
Soumis le : mardi 10 octobre 2023-18:59:52
Dernière modification le : mercredi 11 octobre 2023-03:22:56
Citer
Y. Pauleau, D. Tonneau, G. Auvert. Deposition of Silicon Films by Photodissociation of Silane Under IR Laser Irradiation. Chemical Physics, 1984, Springer Series in Chemical Physics, 39, pp.215-220. ⟨10.1007/978-3-642-82381-7_28⟩. ⟨hal-04236238⟩
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