Wafer-scale detachable monocrystalline germanium nanomembranes for the growth of III–V materials and substrate reuse
Nicolas Paupy
(1, 2)
,
Zakaria Oulad Elhmaidi
(2, 1)
,
Alexandre Chapotot
(2, 1)
,
Tadeáš Hanuš
(2, 1)
,
Javier Arias-Zapata
(2, 1)
,
Alexandre Heintz
(1, 2)
,
Bouraoui Ilahi
(1, 2)
,
Alex Brice Poungoué Mbeunmi
(1, 2)
,
Roxana Arvinte
(2, 1)
,
Mohammad Reza Aziziyan
(2, 1)
,
Valentin Daniel
(2, 1)
,
Gwenaëlle Hamon
(1)
,
Jérémie Chrétien
(2)
,
Firas Zouaghi
(2, 1)
,
Ahmed Ayari
(2, 1)
,
Laurie Mouchel
(2, 1)
,
Jonathan Henriques
(2, 1)
,
Loïc Demoulin
(1, 2)
,
Thierno Mamoudou Diallo
(1, 2)
,
Philippe-Olivier Provost
(2, 1)
,
Hubert Pelletier
(2, 1)
,
Maïté Volatier
(1, 2)
,
Rufi Kurstjens
(3)
,
Jinyoun Cho
(3)
,
Guillaume Courtois
(3)
,
Kristof Dessein
(3)
,
Sébastien Arcand
(4)
,
Christian Dubuc
(4)
,
Abdelatif Jaouad
(1, 2)
,
Nicolas Quaegebeur
(5)
,
Ryan Gosselin
(5)
,
Denis Machon
(1, 2)
,
Richard Arès
(1, 2)
,
Maxime Darnon
(1, 2)
,
Abderraouf Boucherif
(2, 1)
Bouraoui Ilahi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1248683
- ORCID : 0000-0002-6418-6233
Mohammad Reza Aziziyan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 794858
- ORCID : 0000-0002-1698-7976
Denis Machon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 175730
- IdHAL : denis-machon
- ORCID : 0000-0003-4627-6136
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Richard Arès
- Fonction : Auteur
- PersonId : 793024
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Maxime Darnon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
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Abderraouf Boucherif
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1048416
Résumé
The Porous germanium Efficient Epitaxial LayEr Release (PEELER) process is introduced allowing the fabrication of wafer scale detachable monocrystalline Ge nanomembranes compatible with III–V material growth on porous Ge and substrate reuse.
Domaines
Sciences de l'ingénieur [physics]Origine | Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte |
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