Article Dans Une Revue
Oxidation of Metals
Année : 1991
Guy WEBER : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04229471
Soumis le : jeudi 5 octobre 2023-12:40:23
Dernière modification le : vendredi 10 novembre 2023-09:40:52
Citer
Dominique Viale, Guy Weber, Bernard Gillot. Effect of silicon surface-cleaning procedures on the growth of Cu3Si on Si(100)-oriented wafers. Oxidation of Metals, 1991, 35 (5-6), pp.415-426. ⟨10.1007/BF00664712⟩. ⟨hal-04229471⟩
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