Profils de raies en spectroscopie d'émission optique appliqués au diagnostic de micro-plasmas - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2023

Profils de raies en spectroscopie d'émission optique appliqués au diagnostic de micro-plasmas

Résumé

La spectroscopie d’émission optique (OES) apparaît souvent comme une méthode de choix pour l’étude expérimentale des décharges —principalement grâce à sa nature non intrusive du milieu sondé. Qui plus est, le spectre de rayonnement d’un plasma peut être regardé comme une véritable signature des processus élémentaires qui gouvernent ce dernier. Néanmoins, l’information est souvent —voire quasiment— inaccessible lors de l’analyse tant la manifestation optique de chaque phénomène peuvent être confondue. La réalisation se complexifie davantage lorsque l’on s’intéresse à des sources de type micro-plasmas et pourtant, l’OES reste pour ainsi dire une des approches les plus favorables du fait de l’échelle submillimétrique. Cette affiche présentera quelques exemples de mise en application de l’OES à très haute résolution spectrale et spatiale. Les décharges utilisées sont de types micro-décharge à cathode creuse (MHCD) fabriquée sur silicium (1) ainsi que d’un jet micro-plasma (2) —avec ou sans coflow— destinée à des applications endoscopiques. L’analyse des profils de raies atomiques et de bandes moléculaires rotationnelles permettront de remonter à différents paramètres de la décharge moyennant les hypothèses qui seront également discutées. • La température des neutres (ou du gaz) sera estimée à partir de l’analyse des spectres rotationnels de N2(C-B) et de OH(A-X). Ces résultats seront comparés avec des valeurs obtenues par l’analyse de raie résonnantes (1). Des profils de températures à l’échelle micrométrique seront par ailleurs présentés. • Les forces electrohydrodynamiques —vents ioniques— et / ou la fraction molaire d’impureté diffusant dans un écoulement seront évaluées par l’intermédiaire de raies résonnantes (3). • Le champ électrique et la densité électronique seront aussi déduites à partir de profils de Stark. Les limitations (4) ainsi que des interrogations sur l’analyse de l’effet Stark basée sur des résultats expérimentaux seront discutés. La possibilité de mesures de densité électronique inférieure à 1 × 1013/cm3 sera illustrée à partir de profils de Stark de Hβ. Références 1. S. ISENi et al., en, Plasma Sources Sci. Technol. 28, 065003, iSSN : 0963-0252 (mai 2019). 2. J. WiNTER et al., en, J. Phys. D : Appl. Phys. 52, 024005, iSSN : 0022-3727 (nov. 2018). 3. S. ISENi, C. PiCHARD, A. KHACEF, Appl. Phys. Lett. 115, 034102, iSSN : 0003-6951 (juill. 2019). 4. N. KONjEViĆ, M. IVKOViĆ, N. SAKAN, Spectrochimica Acta Part B : Atomic Spectroscopy 76, 16-26, iSSN : 0584-8547 (oct. 2012).
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04194636 , version 1 (03-09-2023)

Licence

Paternité - Partage selon les Conditions Initiales

Identifiants

  • HAL Id : hal-04194636 , version 1

Citer

Sylvain Iséni, Elane Kouadou, Thalita Nishime, Torsten Gerling, Remi Dussart. Profils de raies en spectroscopie d'émission optique appliqués au diagnostic de micro-plasmas. Journées 2023 Groupement de Recherche (GdR) étude des milieux ionisés Plasmas froids créés par décharge et laser (EMILI), Oct 2023, Nancy, France. ⟨hal-04194636⟩
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