Engineering strained silicon on insulator wafers with the Smart CutTM technology
B. Ghyselen
(1)
,
J.-M. Hartmann
(2)
,
T. Ernst
(2)
,
C. Aulnette
(1)
,
B. Osternaud
(1)
,
Y. Bogumilowicz
(2, 3)
,
A. Abbadie
(2)
,
P. Besson
(3)
,
O. Rayssac
(1)
,
A. Tiberj
(1)
,
N. Daval
(1)
,
I. Cayrefourq
(1)
,
F. Fournel
(2)
,
H. Moriceau
(2)
,
C. Di Nardo
(2)
,
F. Andrieu
(2)
,
V. Paillard
(4)
,
M. Cabié
(5)
,
L. Vincent
(3)
,
E. Snoeck
(5)
,
F. Cristiano
(5, 6)
,
A. Rocher
(5)
,
Anne Ponchet
(7)
,
A. Claverie
(5)
,
P. Boucaud
(8)
,
M.-N. Semeria
(2)
,
D. Bensahel
(3)
,
N. Kernevez
(2)
,
C. Mazure
(1)
1
SOITEC
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 STMicroelectonics
4 Laboratoire Physique des Solides de Toulouse
5 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
6 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
7 CEMES-SINanO - Surfaces, Interfaces et Nano-Objets
8 IEF - Institut d'électronique fondamentale
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 STMicroelectonics
4 Laboratoire Physique des Solides de Toulouse
5 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
6 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
7 CEMES-SINanO - Surfaces, Interfaces et Nano-Objets
8 IEF - Institut d'électronique fondamentale
Anne Ponchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18513
- IdHAL : anne-ponchet
- IdRef : 033125554
P. Boucaud
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174456
- IdHAL : philippe-boucaud
- ORCID : 0000-0002-4192-9030
- IdRef : 078860059