Couplage PVD - PECVD pour le dépôt de couches minces nanocomposites à base de nanoparticules d'argent enterrées dans une silice et applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Couplage PVD - PECVD pour le dépôt de couches minces nanocomposites à base de nanoparticules d'argent enterrées dans une silice et applications

Kremena Makasheva

Domaines

Plasmas
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04165131 , version 1 (18-07-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04165131 , version 1

Citer

Kremena Makasheva. Couplage PVD - PECVD pour le dépôt de couches minces nanocomposites à base de nanoparticules d'argent enterrées dans une silice et applications. 13èmes journées d’échanges du Réseau Plasmas Froids, 17-20 Octobre 2016, La Rochelle (FRANCE), 2016, La Rochelle, France. ⟨hal-04165131⟩
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