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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Dielectric engineering for RF-MEMS

Kremena Makasheva
Laurent Boudou

Domaines

Plasmas
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04157436 , version 1 (10-07-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04157436 , version 1

Citer

Kremena Makasheva, Laurent Boudou. Dielectric engineering for RF-MEMS. 7th International Summer School on RF-MEMS and RF Microsystems, Toulouse, France, 2011, Toulouse, France. ⟨hal-04157436⟩
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