How chitosan can be considered as a promising eco-efficient candidate to replace commercial organic-based resists in the photolithography process. Focus on photopatterning and etching behavior in fluorinated plasmas
Didier Léonard
(1, 2)
,
Paule Durin
(3, 2)
,
Olha Sysova
(4)
,
Yue Guan
(3, 2)
,
Corinne Gablin
(2)
,
Aziz Benamrouche
(5)
,
Samar Hajjar-Garreau
(4)
,
Alexandre Téolis
(6)
,
Stéphane Trombotto
(6)
,
Thierry Delair
(6)
,
Isabelle Servin
(7)
,
Raluca Tiron
(7)
,
Arnaud Bazin
(7)
,
Dominique Berling
(4)
,
Olivier Soppera
(4)
,
Thomas Gehin
(3, 8)
,
Emmanuelle Laurenceau
(8, 3)
,
Jean -Louis Leclercq
(9)
,
Yann Chevolot
(8)
1
ISA-Surfaces
2 ISA - Institut des Sciences Analytiques
3 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
4 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
5 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
6 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
7 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
8 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
9 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
2 ISA - Institut des Sciences Analytiques
3 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
4 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
5 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
6 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
7 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
8 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
9 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
Didier Léonard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 925857
- IdHAL : didier-leonard
Corinne Gablin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1145726
- IdHAL : corinne-gablin
Aziz Benamrouche
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1239080
- IdHAL : aziz-benamrouche
- ORCID : 0000-0001-7515-5494
Alexandre Téolis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1302038
- ORCID : 0009-0004-4254-779X
Stéphane Trombotto
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749464
- IdHAL : stephane-trombotto
- ORCID : 0000-0002-7750-2645
Thierry Delair
- Fonction : Auteur
- PersonId : 863899
- ORCID : 0000-0003-0983-4557
Isabelle Servin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1051686
Raluca Tiron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 953199
Dominique Berling
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1226208
- ORCID : 0000-0001-6501-6298
Olivier Soppera
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738946
- IdHAL : olivier-soppera
- ORCID : 0000-0001-5250-2254
- IdRef : 078649781
Thomas Gehin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20784
- IdHAL : thomas-gehin
- IdRef : 083851143
Emmanuelle Laurenceau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18212
- IdHAL : emmanuelle-laurenceau
- ORCID : 0000-0001-9601-7306
- IdRef : 166885061
Jean -Louis Leclercq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20758
- IdHAL : jean-louis-leclercq
- ORCID : 0000-0002-3497-7229
- IdRef : 166784796
Yann Chevolot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17893
- IdHAL : yann-chevolot
- ORCID : 0000-0003-3479-3371
- IdRef : 150338090