Interactions of water soluble Bio-sourced Resist with Fluorine Etching Plasmas during Photopatterning Processes
Paule Durin
(1)
,
Corinne Gablin
(2)
,
Aziz Benamrouche
(3)
,
Samar Hajjar-Garreau
(4)
,
Alexandre Teolis
(5)
,
Névine Rochat
(6)
,
Thomas Gehin
(1)
,
Stéphane Trombotto
(5)
,
Thierry Delair
(5)
,
Isabelle Servin
(6)
,
Raluca Tiron
(6)
,
Arnaud Bazin
(6)
,
Olha Sysova
(4)
,
Olivier Soppera
(4)
,
Emmanuelle Laurenceau
(7, 1)
,
Jean -Louis Leclercq
(8)
,
Yann Chevolot
(7, 1)
,
Didier Léonard
(9, 2)
1
INL - DSE -
INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
2 ISA - Institut des Sciences Analytiques
3 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
4 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
5 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
7 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
8 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
9 ISA-Surfaces
2 ISA - Institut des Sciences Analytiques
3 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
4 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
5 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
7 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
8 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
9 ISA-Surfaces
Corinne Gablin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1145726
- IdHAL : corinne-gablin
Aziz Benamrouche
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1239080
- IdHAL : aziz-benamrouche
- ORCID : 0000-0001-7515-5494
Alexandre Teolis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1302038
- ORCID : 0009-0004-4254-779X
Névine Rochat
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1215447
- ORCID : 0000-0003-3574-4424
Thomas Gehin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20784
- IdHAL : thomas-gehin
- IdRef : 083851143
Stéphane Trombotto
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749464
- IdHAL : stephane-trombotto
- ORCID : 0000-0002-7750-2645
Thierry Delair
- Fonction : Auteur
- PersonId : 863899
- ORCID : 0000-0003-0983-4557
Isabelle Servin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1051686
Raluca Tiron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 953199
Olivier Soppera
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738946
- IdHAL : olivier-soppera
- ORCID : 0000-0001-5250-2254
- IdRef : 078649781
Emmanuelle Laurenceau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18212
- IdHAL : emmanuelle-laurenceau
- ORCID : 0000-0001-9601-7306
- IdRef : 166885061
Jean -Louis Leclercq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20758
- IdHAL : jean-louis-leclercq
- ORCID : 0000-0002-3497-7229
- IdRef : 166784796
Yann Chevolot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17893
- IdHAL : yann-chevolot
- ORCID : 0000-0003-3479-3371
- IdRef : 150338090
Didier Léonard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 925857
- IdHAL : didier-leonard