Water-soluble bio-sourced resists for DUVlithography in a 200/300mm pilot line environment Oral Presentation
Isabelle Servin
(1)
,
Alexandre Teolis
(2)
,
Arnaud Bazin
(1)
,
Paule Durin
(3)
,
Olha Sysova
(4)
,
Didier Léonard
(5, 6)
,
Olivier Soppera
(4)
,
Jean -Louis Leclercq
(7)
,
Yann Chevolot
(8, 3)
,
Raluca Tiron
(1)
,
Stéphane Trombotto
(2)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
3 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
4 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
5 ISA-Surfaces
6 ISA - Institut des Sciences Analytiques
7 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
8 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
2 IMP - Ingénierie des Matériaux Polymères
3 INL - DSE - INL - Dispositifs pour la Santé et l’Environnement
4 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse
5 ISA-Surfaces
6 ISA - Institut des Sciences Analytiques
7 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon
8 INL - C&N - INL - Chimie et Nanobiotechnologies
Isabelle Servin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1051686
Alexandre Teolis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1302038
- ORCID : 0009-0004-4254-779X
Didier Léonard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 925857
- IdHAL : didier-leonard
Olivier Soppera
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738946
- IdHAL : olivier-soppera
- ORCID : 0000-0001-5250-2254
- IdRef : 078649781
Jean -Louis Leclercq
- Fonction : Auteur
- PersonId : 20758
- IdHAL : jean-louis-leclercq
- ORCID : 0000-0002-3497-7229
- IdRef : 166784796
Yann Chevolot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17893
- IdHAL : yann-chevolot
- ORCID : 0000-0003-3479-3371
- IdRef : 150338090
Raluca Tiron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 953199
Stéphane Trombotto
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749464
- IdHAL : stephane-trombotto
- ORCID : 0000-0002-7750-2645