Nucleation and coalescence of tungsten disulfide layers grown by metalorganic chemical vapor deposition
Haonan Tang
(1)
,
Sergej Pasko
(1)
,
Simonas Krotkus
(1)
,
Thorsten Anders
(1)
,
Cornelia Wockel
(1)
,
Jan Mischke
(1)
,
Xiaochen Wang
(2)
,
Ben Conran
(2)
,
Clifford Mcaleese
(2)
,
Ken Teo
(2)
,
Sreetama Banerjee
(3)
,
Henry Medina Silva
(3)
,
Pierre Morin
(3)
,
Inge Asselberghs
(3)
,
Amir Ghiami
(4)
,
Annika Grundmann
(4)
,
Songyao Tang
(4)
,
Hleb Fiadziushkin
(4)
,
Holger Kalisch
(4)
,
Andrei Vescan
(4)
,
Salim El Kazzi
(5)
,
Alain Marty
(6)
,
Djordje Dosenovic
(7)
,
Hanako Okuno
(7)
,
Lucie Le Van-Jodin
(8)
,
Michael Heuken
(1, 4)
1
AIXTRON SE
2 Aixtron (UK)
3 IMEC - IMEC
4 ITA - Institut für Textiltechnik der RWTH [Aachen]
5 Applied Materials-NUS Advanced Materials Corporate Lab
6 SPINTEC - SPINtronique et TEchnologie des Composants
7 MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux
8 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 Aixtron (UK)
3 IMEC - IMEC
4 ITA - Institut für Textiltechnik der RWTH [Aachen]
5 Applied Materials-NUS Advanced Materials Corporate Lab
6 SPINTEC - SPINtronique et TEchnologie des Composants
7 MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux
8 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Annika Grundmann
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1257141
- ORCID : 0000-0002-0836-7793
Songyao Tang
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1257142
- ORCID : 0000-0002-3486-6174
Hleb Fiadziushkin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1257143
- ORCID : 0000-0002-0456-7480
Andrei Vescan
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1257144
- ORCID : 0000-0001-9465-2621
Alain Marty
- Fonction : Auteur
- PersonId : 182012
- IdHAL : alain-marty
- ORCID : 0000-0001-5709-6945
- IdRef : 108459128