Mesures et modélisation RF de capacités MIM intégrées
Résumé
Il s’agit de former des étudiants de Master 2 et des ingénieurs en formation continue à la mesure RF sous pointes pour caractériser des capacités Métal-Isolant-Métal (MIM) intégrées sur un wafer. La problématique est d’obtenir le modèle électrique le plus fiable possible de ces capacités entre 40MHz et 26GHz tout en s’affranchissant des contraintes de mesures et des éléments d’accès RF à cette capacité.