Recherche et développement d'une optoélectronique résonante pour le suivi dynamique en temps réel de substances biochimiques : réalisation de microstructures résonateurs sur organiques et silicium, applications aux mesures de viscosités
Résumé
Cette étude expose le développement d’un viscosimètre optique qui mesure l’Intervalle Spectral Libre (ISL) d’un mode optique résonant lors de la sédimentation de nanoparticules dans un mélange eau/glycérol. L’utilisation du signal résonant afin d’analyser la sédimentation de nanoparticules dans l’eau a déjà fait l’objet d’une étude antérieure[1]. La structure photonique est composée de micro-résonateurs en forme de « circuit de course » constitués du polymère UV210 développé par photolithographie dans l’UV profond sur une bi-couche Si/SiO2. Le tracé de la viscosité (mesurée par un rhéomètre mécanique commercial) par rapport à la pente de l’ISL durant le processus de sédimentation en fonction de la concentration en glycérol montre une transformation mathématique possible entre ces données. Le bon accord entre les mesures mécaniques et optiques prouve la faisabilité d'un viscosimètre optique basé sur un signal résonant. Afin d’étendre l’étude à des liquides pouvant attaquer les guides d’ondes organiques, des procédés matériaux ont été réalisés pour les protéger[2]. Deux dépôts par PECVD à basse température permettent de réaliser des structures Si/SiO2/UV210/Si/SiO2. Une mesure statistique de l’ISL assure la qualité de ces nouvelles puces photoniques.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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