Communication Dans Un Congrès
Année : 2016
Nathalie Pagès : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03998442
Soumis le : mardi 21 février 2023-10:15:12
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-09:26:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03998442 , version 1
Citer
V. Garofano, L. Stafford, J. Gorka, Freddy Gaboriau, Bernard Despax, et al.. Experimental study on nanoparticle formation dynamics in HMDSO-Ar asymmetric capacitively-coupled radiofrequency plasma with application to deposition of nanocomposite layers. 11th IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conference (NMDC), Oct. 9-12, 2016, Toulouse (FRANCE), 2016, Toulouse, France. ⟨hal-03998442⟩
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