Experimental study on nanoparticle formation dynamics in HMDSO-Ar asymmetric capacitively-coupled radiofrequency plasma with application to deposition of nanocomposite layers
V. Garofano
(1)
,
L. Stafford
(1)
,
J. Gorka
(2)
,
Freddy Gaboriau
(3)
,
Bernard Despax
(2)
,
J. Boulon
(4)
,
C. Joblin
(4)
,
K. Demyk
(4)
,
Kremena Makasheva
(5)
Freddy Gaboriau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 182952
- IdHAL : freddy-gaboriau
- ORCID : 0000-0001-8755-9744
- IdRef : 060602872
C. Joblin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21867
- IdHAL : christine-joblin
- ORCID : 0000-0003-1561-6118
- IdRef : 052563693
Kremena Makasheva
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180338
- IdHAL : kremena-makasheva
- ORCID : 0000-0001-6113-3593
- IdRef : 178653187