Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
Karine Pistre : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03989126
Soumis le : mardi 14 février 2023-17:03:58
Dernière modification le : mercredi 15 mai 2024-14:26:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03989126 , version 1
Citer
Rick Verhoef, Patrice Raynaud, S. Ligot, R. Snyders, T. Nelis, et al.. Correlation between plasma phase and thin films deposition in ICP exited PECVD with Zirconium Tetra tert-Butoxide as precursor. PSE 2014, 13 -19 september 2014.Garmisch Partenkirchen (GERMANY), 2014, Garmisch Partenkirchen, Germany. ⟨hal-03989126⟩
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