Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
Karine Pistre : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03988381
Soumis le : mardi 14 février 2023-13:54:23
Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:21
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03988381 , version 1
Citer
Nicolas Gherardi, Louison Maechler, Christian Sarra-Bournet, Nicolas Naudé, F. Massines. APGD and APTD for the deposition of silicon based thin films from N2O/HMDSO mixtures: application to gas-barrier layers. ISPC 19: 19th International Symposium on Plasma Chemistry, Bochum, Germany., 2009, Bochum, Germany. ⟨hal-03988381⟩
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