Elaboration par PPECVD de couches minces de SiNx contenant des nanocristaux de silicium : estimation de la taille et de la dispersion en taille des cristallites par spectroscopie Raman - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012
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Dates et versions

hal-03987865 , version 1 (14-02-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03987865 , version 1

Citer

Kremena Makasheva, Jérémy Barbé, S. Perraud, Bernard Despax. Elaboration par PPECVD de couches minces de SiNx contenant des nanocristaux de silicium : estimation de la taille et de la dispersion en taille des cristallites par spectroscopie Raman. 13èmes journées de la Matière Condensée, Montpellier, France, 2012, Montpellier, France. ⟨hal-03987865⟩
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