Communication Dans Un Congrès
Année : 2012
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https://hal.science/hal-03987865
Soumis le : mardi 14 février 2023-11:24:05
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-10:50:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03987865 , version 1
Citer
Kremena Makasheva, Jérémy Barbé, S. Perraud, Bernard Despax. Elaboration par PPECVD de couches minces de SiNx contenant des nanocristaux de silicium : estimation de la taille et de la dispersion en taille des cristallites par spectroscopie Raman. 13èmes journées de la Matière Condensée, Montpellier, France, 2012, Montpellier, France. ⟨hal-03987865⟩
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