Modeling of a high power RF discharge - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03953590 , version 1 (24-01-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03953590 , version 1

Citer

Gwenael Fubiani, Jean-Pierre Boeuf, Gerjan Hagelaar, Stanimir Kolev, A. Simonin. Modeling of a high power RF discharge. NIBS 2008 : 1st International Conference on Negative Ions, Beams and Sources Aix-en-Provence, France, 2009, Aix-en-Provence, France. ⟨hal-03953590⟩
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