Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
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https://hal.science/hal-03942601
Soumis le : mardi 17 janvier 2023-10:45:23
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Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03942601 , version 1
Citer
Mohamed Lamhamdi, Jean Guastavino, Laurent Boudou, Yvan Segui, Patrick Pons, et al.. Correlation between charge accumulation and chemical proprieties in Si3N4 thin films: impact on RF MEMS devices. E-MRS 2007: The European Materials Research Society 2007 Fall Meeting Varsaw, Poland, 2007, Varsaw, Poland. ⟨hal-03942601⟩
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