Communication Dans Un Congrès Année : 2007
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03942601 , version 1 (17-01-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03942601 , version 1

Citer

Mohamed Lamhamdi, Jean Guastavino, Laurent Boudou, Yvan Segui, Patrick Pons, et al.. Correlation between charge accumulation and chemical proprieties in Si3N4 thin films: impact on RF MEMS devices. E-MRS 2007: The European Materials Research Society 2007 Fall Meeting Varsaw, Poland, 2007, Varsaw, Poland. ⟨hal-03942601⟩
156 Consultations
0 Téléchargements

Partager

  • More