PEELER process: wafer scale epitaxial layer release and substrate reuse
N. Paupy
(1, 2)
,
Z.O. Elhmaidi
,
A. Chapotot
(1, 2)
,
T. Hanuš
(1, 2)
,
J. Arias-Zapata
(1, 2)
,
B. Ilahi
(1, 2)
,
A. Heintz
(1, 2)
,
A. B. Poungoué Mbeunmi
(1, 2)
,
R. Arvinte
,
M. R. Aziziyan
,
V. Daniel
(1, 2)
,
G. Hamon
(1, 2)
,
F. Zouaghi
(1, 2)
,
A. Ayari
,
A. Boucherif
(1, 2)
Z.O. Elhmaidi
- Fonction : Auteur
R. Arvinte
- Fonction : Auteur
M. R. Aziziyan
- Fonction : Auteur
A. Ayari
- Fonction : Auteur