Maskless interdigitated a-Si:H PECVD process on full M0 c-Si wafer: Homogeneity and passivation assessment - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Solar Energy Materials and Solar Cells Année : 2022

Maskless interdigitated a-Si:H PECVD process on full M0 c-Si wafer: Homogeneity and passivation assessment

Sergej Filonovich
  • Fonction : Auteur
Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
Junkang Wang
  • Fonction : Auteur
Monalisa Ghosh
Erik Johnson
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03866046 , version 1 (22-11-2022)

Identifiants

Citer

Karim Ouaras, Sergej Filonovich, Bastien Bruneau, Junkang Wang, Monalisa Ghosh, et al.. Maskless interdigitated a-Si:H PECVD process on full M0 c-Si wafer: Homogeneity and passivation assessment. Solar Energy Materials and Solar Cells, 2022, 246, pp.111927. ⟨10.1016/j.solmat.2022.111927⟩. ⟨hal-03866046⟩
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