Evidence of new point defects optical features in Zr-implanted polycrystalline AlN films - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Evidence of new point defects optical features in Zr-implanted polycrystalline AlN films

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-03829574

Soumis le : mardi 25 octobre 2022-17:11:57

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:29:44

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Dates et versions

hal-03829574 , version 1 (25-10-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03829574 , version 1

Citer

A Aghdaei,, R Pandiyan,, B Ilahi,, M Chicoine,, M El Gowini,, et al.. Evidence of new point defects optical features in Zr-implanted polycrystalline AlN films. APS March Meeting 2021, Mar 2021, Virtuel, United States. ⟨hal-03829574⟩

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