Exploring Ru Compatibility With Al-Ge Eutectic Wafer Bonding - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Microelectromechanical Systems Année : 2022

Exploring Ru Compatibility With Al-Ge Eutectic Wafer Bonding

Dates et versions

hal-03823296 , version 1 (20-10-2022)

Identifiants

Citer

Mark Ferguson, Mohamed Najah, Frederic Banville, Mohamed Boucherit, Paul Gond-Charton, et al.. Exploring Ru Compatibility With Al-Ge Eutectic Wafer Bonding. Journal of Microelectromechanical Systems, 2022, 31 (4), pp.599-603. ⟨10.1109/JMEMS.2022.3165716⟩. ⟨hal-03823296⟩
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