Fabrication, electrical characterization and sub-ng mass resolution of sub-μm air-gap bulk mode MEMS mass sensors for the detection of airborne particles
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Sciences de l'ingénieur [physics]Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Soumis le : jeudi 21 juillet 2022-07:23:58
Dernière modification le : lundi 23 octobre 2023-10:47:32
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