Fabrication, electrical characterization and sub-ng mass resolution of sub-μm air-gap bulk mode MEMS mass sensors for the detection of airborne particles - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2020

Fabrication, electrical characterization and sub-ng mass resolution of sub-μm air-gap bulk mode MEMS mass sensors for the detection of airborne particles

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hal-03488622 , version 1 (21-07-2022)

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Ugur Soysal, Frédéric Marty, Evelyne Géhin, Charles Motzkus, Emmanuelle Algré. Fabrication, electrical characterization and sub-ng mass resolution of sub-μm air-gap bulk mode MEMS mass sensors for the detection of airborne particles. Microelectronic Engineering, 2020, 221, pp.111190 -. ⟨10.1016/j.mee.2019.111190⟩. ⟨hal-03488622⟩
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