Article Dans Une Revue
Semiconductor Science and Technology
Année : 2021
Laboratoire Mateis : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03483008
Soumis le : jeudi 16 décembre 2021-12:00:02
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:15
Citer
Martin Jacob, Julien Sorel, Rafael Bortolin Pinhiero, Frederic Mazen, Adeline Grenier, et al.. Correlative STEM-HAADF and STEM-EDX tomography for the 3D morphological and chemical analysis of semiconductor devices. Semiconductor Science and Technology, 2021, 36, ⟨10.1088/1361-6641/abd925⟩. ⟨hal-03483008⟩
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