Synthesis of ZnO sol–gel thin-films CMOS-Compatible - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue RSC Advances Année : 2021

Synthesis of ZnO sol–gel thin-films CMOS-Compatible

Nizar Ben Moussa
Mohamed Lajnef
  • Fonction : Auteur
Nessrine Jebari
  • Fonction : Auteur
Cedric Villebasse
  • Fonction : Auteur
Fabien Bayle
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 857569
Julien Chaste
Radouane Chtourou
  • Fonction : Auteur

Résumé

A low-cost sol–gel spin-coating technique is used in this study for the simple synthesis of eco-friendly ZnO multilayer films deposited on (100)-oriented silicon substrates ranging from 150 to 600 nm by adjusting the spin coating rate.
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Origine Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte

Dates et versions

hal-03450817 , version 1 (26-11-2021)

Identifiants

Citer

Nizar Ben Moussa, Mohamed Lajnef, Nessrine Jebari, Cedric Villebasse, Fabien Bayle, et al.. Synthesis of ZnO sol–gel thin-films CMOS-Compatible. RSC Advances, 2021, 11 (37), pp.22723-22733. ⟨10.1039/D1RA02241E⟩. ⟨hal-03450817⟩
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