Lithographically Defined Cross-Linkable Top Coats for Nanomanufacturing with High-χ Block Copolymers - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue ACS Applied Materials & Interfaces Année : 2021

Lithographically Defined Cross-Linkable Top Coats for Nanomanufacturing with High-χ Block Copolymers

Xavier Chevalier
Arkema
Cindy Gomes Correia
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Gwenaelle Pound-Lana
  • Fonction : Auteur
Philippe Bézard
  • Fonction : Auteur
Matthieu Sérégé
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Camille Petit-Etienne
Guillaume Gay
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Gilles Cunge
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Benjamin Cabannes-Boué
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Célia Nicolet
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Christophe Navarro
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Ian Cayrefourcq
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Ilias Iliopoulos
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Soumis le : lundi 8 novembre 2021-15:29:35

Dernière modification le : lundi 22 avril 2024-18:45:23

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hal-03419558 , version 1 (08-11-2021)

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Citer

Xavier Chevalier, Cindy Gomes Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, et al.. Lithographically Defined Cross-Linkable Top Coats for Nanomanufacturing with High-χ Block Copolymers. ACS Applied Materials & Interfaces, 2021, 13 (9), pp.11224-11236. ⟨10.1021/acsami.1c00694⟩. ⟨hal-03419558⟩

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