Is a substrate miscut really required for high quality III-V/Si monolithic integration?
Charles Cornet
(1)
,
Simon Charbonnier
(2)
,
Ida Lucci
(1)
,
Lipin Chen
(1)
,
Antoine Létoublon
(1)
,
Karine Tavernier
(1)
,
Tony Rohel
(1)
,
Rozenn Bernard
(1)
,
Jean-Baptiste Rodriguez
(3, 4, 5)
,
Laurent Cerutti
(3, 4)
,
Eric Tournié
(3, 4)
,
Yoan Léger
(1)
,
Mounib Bahri
(6)
,
Gilles Patriarche
(6)
,
Ludovic Largeau
(6)
,
Anne Ponchet
(7, 8)
,
Pascal Turban
(2)
,
Nicolas Bertru
(1)
1
FOTON -
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON
2 IPR - Institut de Physique de Rennes
3 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
4 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
5 MAT - Matériaux
6 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
7 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
8 CEMES-SINanO - Surfaces, Interfaces et Nano-Objets
2 IPR - Institut de Physique de Rennes
3 IES - Institut d’Electronique et des Systèmes
4 NANOMIR - Composants à Nanostructure pour le moyen infrarouge
5 MAT - Matériaux
6 C2N - Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies
7 CEMES - Centre d'élaboration de matériaux et d'études structurales
8 CEMES-SINanO - Surfaces, Interfaces et Nano-Objets
Charles Cornet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3283
- IdHAL : charles-cornet
- ORCID : 0000-0002-1363-7401
- IdRef : 112108571
Simon Charbonnier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17924
- IdHAL : simon-charbonnier
- IdRef : 253131235
Lipin Chen
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1040477
- ORCID : 0009-0002-4947-5026
Antoine Létoublon
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3357
- IdHAL : antoine-letoublon
- ORCID : 0000-0002-3655-5943
- IdRef : 191470953
Karine Tavernier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1391302
- IdHAL : karine-tavernier
Rozenn Bernard
- Fonction : Auteur
- PersonId : 13325
- IdHAL : rozenn-bernard
- ORCID : 0000-0001-9312-5037
- IdRef : 111104742
Jean-Baptiste Rodriguez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15914
- IdHAL : bobjb
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- IdRef : 074248979
Laurent Cerutti
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18385
- IdHAL : laurent-cerutti
- ORCID : 0000-0002-1758-7130
- IdRef : 069263302
Eric Tournié
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18604
- IdHAL : eric-tournie
- ORCID : 0000-0002-8177-0810
- IdRef : 077085035
Yoan Léger
- Fonction : Auteur
- PersonId : 3149
- IdHAL : yoan-leger
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Gilles Patriarche
- Fonction : Auteur
- PersonId : 749659
- IdHAL : gilles-patriarche
- ORCID : 0000-0002-3917-2470
- IdRef : 085221872
Ludovic Largeau
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1032436
- IdHAL : largeau-l
- ORCID : 0009-0003-0251-7273
Anne Ponchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18513
- IdHAL : anne-ponchet
- IdRef : 033125554
Nicolas Bertru
- Fonction : Auteur
- PersonId : 176302
- IdHAL : nicolas-bertru
- ORCID : 0000-0002-4378-260X
- IdRef : 099532093